微纳压电位移台

详细说明

随着科学技术的发展，微纳驱动技术在众多领域有着越来越广泛的应用，如在精密光学仪器、微纳米制造装备、生物医疗工程，例如原位微纳米压痕/划痕测试设备中的应用尤为突出。其中，利用压电式微位移致动器或微位移驱动平台实现高精度定位和运动控制是微纳驱动领域的关键技术之一。当前压电位移台因无法实现驱动过程中对摩擦力的综合调控，因此存在大行程、高精度与高负载等特性难以同时满足的问题，这严重制约了压电位移台的发展与应用。因此，提出一种新型压电粘滑驱动技术，开发一种可满足大行程、高分辨与高负载输出能力的压电位移台，以满足商业化的需求显得尤为紧迫。

团队采用柔性铰链机构与压电叠堆相结合来设计开发铰链式压电粘滑驱动器，将控制单元和检测单元与驱动器集成研发压电位移台。形成了铰链式压电粘滑驱动器的驱动理论，掌握了压电粘位移台的设计方法，研制开发出不同原理和结构的20余台（套）压电驱动器样机，具备了丰富的理论和实践经验。样机技术指标：平台运动行程大于10mm，定位精度优于50nm。

本团队研发压电位移台具有结构紧凑、行程大、精度高、输出速度高、推力大、负载能力强等特点，技术指标达到国际前列。项目涉及的核心技术完全拥有自主知识产权，并获国家专利授权，可实现压电位移台的工程化与产业化。